有时候会遇到sprocess输出的tdr文件,打开却是plt文件一样,只有数字化的描述,没有图像,见下图:
image.png


大多数遇到这种情况,都是因为tdr文件结构太简单了。
比如说一个平行平面结,虽然它是二维的,但是事实上它只有P→N那个维度上的信息是有价值的,结的宽度是基本无用的信息。就像下图:
image.png


但有时候,还是需要这样的图形的。
经过我的实测发现,差异来自于输出语句。

#if [string compare @Out_put_type@ "_tdr_"] == 0
struct tdr="@tdr@"
#elseif [string compare @Out_put_type@ "_smesh_"] == 0
struct smesh= "@tdr@"
#endif

无论对于什么样的图形,用struct smesh= “xxx”都可以得到图;
对于简单的图形,用struct tdr=”xxx”的话就有极大可能是图1那样的“数”。
对于复杂的图形,用struct tdr=”xxx”是可以得到图像的。

后续步骤的sdevice,如果你输入的是图1那样的“数”,得到的仍旧是“数”。反之亦然。
image.png

如这个项目所示,用tdr输出,只能得到一张“数”。用smesh输出的是图形。


找到原因了,在training的sprocess一章里面有写:Sentaurus Process simulates in one dimension until the first mask is used. The simulation remains 1D if the mask covers entirely or is fully outside of the simulation domain。

在第一个mask之前,sprocess都是在1维情况下仿真的。如果第一个mask全覆盖/全暴露整个仿真区域,那么仿真仍旧停留在1维

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