仿真用的软件是Sentaurus Workbench。
教程来自MOOC 半导体器件原理与仿真设计


2.3.1 PN结直流特性仿真设计与分析

Solve {
    # -inital solution:
    Coupled ( Iterations = 100 ) { Poisson }
    Coupled { Poisson Electron Hole }
    # P voltage ramp
    Quasistationary ( 
        InitialStep = 1e-3 Minstep = 1e-8 MaxStep=0.02
    Goal{ Name="P" Voltage= 2} )
    { Coupled (iterations = 50 notdamped = 15) { Poisson Electron Hole }
        plot(FilePrefix="PN_Forward" NoOverwrite
        Time=(0; 0.2; 0.8) ) }
}

plot(FilePrefix="PN_Forward" NoOverwrite
Time=(0; 0.2; 0.8) ) }
保存仿真过程中t=0;0.2;0.8时刻的结构图(后缀_000.tdr; _001.tdr)

Solve {
# -inital solution:
    Coupled ( Iterations = 100 ) { Poisson }
    Coupled { Poisson Electron Hole }
# -P voltage ramp:
    Quasistationary ( 
        InitialStep = 1e-3 Minstep = 1e-8 MaxStep=0.3
    Goal{ Name="P" Voltage= -100} )
    { Coupled { Poisson Electron Hole }
    CurrentPlot ( time=( range=(0 1) intervals=50)) }
}

CurrentPlot ( time=( range=(0 1) intervals=50))表示绘制的曲线中,有50个取样点。取样点越多曲线越平滑,可参考下图


3.4.2 npn型晶体管的二维Sentaurus Process建模流程介绍

line x loc= 4.0<um>  tag=SubTop  spacing=0.005<um>
line x location= 4.0<um>    tag= SubTop     spacing= 0.005<um>

SWB可以识别缩写(location缩写为loc),使用缩写不影响代码正常运行。
但是jedit编辑器识别不了缩写,所以关键词不会变色。


energy= 100<keV> 单位里的V要大写,也可以直接省略单位


SetPlxList {BTotal SbTotal AsTotal PTotal}
WritePlx n@node@_Buried.plx y= 5.0

位置y=5切线各个掺杂浓度


重新规划网格

refinebox clear
refinebox Silicon min= {0 0.2} max= {1.5 14.4} xrefine= {0.1 0.1 0.2} yrefine= {0.1 0.2 0.1} add
refinebox remesh

另一种写法
refinebox min= {2.5 1} max= {2 3} xrefine= {0.1} yrefine= {0.1} all add

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